本报记者 薛婧

当“双碳”目标与高端制造深度交融，一场深刻的绿色智造变革正在龙江大地蓬勃展开。日前，哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司（以下简称科友半导体）成功获评2025年度国家级绿色工厂，成为龙江高端制造绿色标杆。从制度筑基到全域技改，从工艺革新到精细管理，这家深耕第三代半导体的科创企业，正以技术革新、节能降耗、提质增效为核心，书写绿色化、智能化、高端化转型的生动样本。

制度先行 标准体系筑牢绿色根基

绿色制造，制度为纲。自2018年落地哈尔滨新区以来，科友半导体始终将绿色低碳理念植入发展基因。企业严格对标行业最高标准，依据《2024-2035 绿色低碳发展规划》精准锚定“双碳”目标，从制度建设、技术改造、资源循环、节水降耗、工艺革新、厂区管理六大维度启动全方位系统性升级，精准破解半导体行业普遍存在的能耗偏高、耗材量大、原料成本高昂等痛点难题，真正实现生态环保、生产提质、效益增收的多维同步提升。

为让绿色管理落地生根，公司专项组建绿色工厂管理委员会，全面落实层级责任制度，将节能降耗、低碳减排指标纳入全员绩效考核，并配套完善系列绿色管理制度。目前，企业已顺利通过ISO50001能源管理体系、ISO14001环境管理体系双重权威认证，危废处置率达100%，各项节水指标均优于国家标准，从制度层面为企业绿色低碳发展筑牢坚实根基。

技改赋能 精准降本循环增效

节能降耗，技改先行。科友半导体落地十二项核心节能技改项目，其中长晶炉六段阶梯温控智能工艺的优化成为亮点。该工艺彻底颠覆传统“固定参数、单一生产”的粗放模式，告别“依设备定生产”的被动局面，实现多尺寸、多规格碳化硅衬底柔性化、智能化同步生产。技改后，单炉耗电量较行业平均水平降低25%，节能成效显著。同时，企业创新推行感应炉、电阻炉耗材接力复用模式，直接将耗材成本降低六成。此外，厂房保温升级、全域LED节能灯具更换、智能控水器件加装等改造同步完成，全方位压降生产能耗。

在资源循环利用上，企业重点落地废旧石墨再生、料锭取芯、原料重复利用三大项目，累计投入30万元用于循环技术研发与设备升级，每年可节约8吨标准煤，实现直接创收70万元。依托自研提纯技术、TaC防护涂层工艺、热场仿真优化等核心技术，实现生产废料提纯后再投料使用，将原料成本降至行业三成水平。

目前，全厂工业固废综合利用率超95%，构建起低成本、低能耗、高循环的绿色生产模式。

水资源集约利用同样可圈可点。2023年，企业建成成套专业废水回收装置，生产废水循环回用率达86.8%，冷却水循环率接近100%。配合透水路面铺设、全域节水器具更换、管网精细化运维等举措，管网漏损率控制在0.1%，以闭环节水体系最大限度地节约水资源。

工艺革新  精细管理擦亮龙江智造名片

绿色工艺是核心竞争力提升的关键。科友半导体自主研发原位退火、籽晶覆膜等核心工艺，使碳化硅单晶良率较国内行业平均水平高出15个百分点，大幅提升产品品质与生产效益。公司生产的高端碳化硅衬底产品，广泛应用于新能源汽车、光伏风电、储能等绿色战略性产业，全链条贴合绿色低碳发展需求，产品绿色属性与市场竞争力突出。

生产运营之外，企业对厂区进行标准化、规范化整体规划，物料分类规范堆放、生产区域科学划分、厂区全域绿化覆盖，有效提升土地集约化利用水平，打造出整洁、高效、绿色的现代化智能制造厂区。

获评国家级绿色工厂，是科友半导体绿色转型之路的里程碑，更是企业践行“双碳”社会责任的有力佐证。未来，科友半导体将持续迭代低碳核心技术、优化绿色生产工艺、沉淀推广行业先进绿色制造经验，以技术创新激活新质生产力，持续释放降碳增效、提质创优的发展势能，充分发挥本土龙头科创企业的示范引领作用，让“龙江智造”的绿色名片愈发闪亮。